中科艾尔超洁净气路系统关键零部件、管件及存储集成生产项目开工

据中科艾尔官微消息，日前，中科艾尔超洁净气路系统关键零部件、管件及存储集成生产项目开工建设。

据悉，二期项目占地13.3万平米,建筑面积约12万平米，建设内容为年产500万件的超洁净气路系统关键零部件生产线、年产1000万米的超洁净管件生产线、年产7万个半导体级源瓶以及16万个半导体级瓶阀的超洁净存储集成生产线。

项目建成后，将成为国内唯一的产研一体、链条闭环的集成电路气路系统核心零部件研发生产基地，强力支撑国内芯片生产的自主可控、国产替代战略。