8月29日,三菱电机宣布,已在功率器件工厂福山工厂完成了该公司第一条300毫米(12英寸)晶圆生产线的安装,该工厂负责功率半导体的晶圆工艺。
该生产线的安装目标是到2025财年将公司硅功率半导体晶圆工艺的产能较2020财年翻一番。计划于2024年开始量产,目前已确认使用同一生产线制造的晶圆的功率半导体芯片原型已经过评估,并已达到设计的性能。
新的12英寸生产线具有通过增加硅片直径和通过自动化提高生产力的优势,以及通过在内部增加载流子存储层实现低损耗的独特“CSTBT cell结构”晶圆。通过这种改进,三菱电机希望能够实现低损耗和提高生产率,同时也将把该技术应用到RC-IGBT上,以实现其产品的差异化。三菱电机表示,汽车领域和消费领域将是上述产品的首个目标市场。
(JSSIA整理)