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ZTFT-3000型铁电测试仪

2023-08-02
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摘要 ZTFT-3000型铁电测试仪是采用先进集成电路设计,软件丰富多元化设计,具备DHM动态电滞回线,C-V曲线,LM漏电曲线,FM疲劳曲线,PM脉冲测量,IM印迹,RM保持力,BDM击穿保护,可扩展TSD热释电系数,TSDC热刺激电流,DTS介电温谱,ECM电卡效应,RT电阻测量,POM油浴极化。采用模块化设计,即可独立又可组合,是试验室材料测量设备之一

ZTFT-3000型铁电测试仪

ZTFT-3000型铁电测试仪是采用先进集成电路设计,软件丰富多元化设计,具备DHM动态电滞回线,C-V曲线,LM漏电曲线,FM疲劳曲线,PM脉冲测量,IM印迹,RM保持力,BDM击穿保护,可扩展TSD热释电系数,TSDC热刺激电流,DTS介电温谱,ECM电卡效应,RT电阻测量,POM油浴极化。采用模块化设计,即可独立又可组合,是试验室材料测量设备之一 。


一、铁电测试主机主要性能

整套系统可以测试块体材料在室温到200℃,电压±5kV电流2mA以内的铁电、压电性能。可以测试的铁电性能包括:动态电滞回线、电滞IV曲线、疲劳曲线、漏电流曲线、C-V曲线、损耗曲线,变温测试功能。

二、测试功能要求

1.       电滞回线测试

  测试电压:0~±5kV(其中主机输出0~100V,用于薄膜测试;接电压放大器输出0~±5kV,用于块材测试);

测量频率:0.1Hz~10kHz;

电荷测量解析度范围: 0.80pC~5.26mC;

材料测量面积解析度范围0.080μm2 ~50cm2;

在使用外部高压电源时,测量电荷的最大解析度为526mC。

2.       记忆特性测试

电压范围:0~5V

五脉冲系列测试铁电体记忆特性;

脉冲测试:0.5us~1s;

0V上升到5V的最快时间: 500ns;

5个脉冲的电压,预设直流偏压和偏置时间可以任意设定,最小脉冲宽度2.5MHz;

脉冲之间最大可以设定40000秒的延迟。

3.       漏电流测试

可进行漏电流-偏置电压测试和漏电流-时间测试;

分辨率:1pA;

漏电流测试:0-12.5mA。

4.       疲劳测试

疲劳测量频率:0- 100kHz;

脉冲宽度:0-0.5us;

可以通过外接任意波形产生器使疲劳测试频率提升到1MHz以上。

三、10KV高压测试模块

1. 配有用于块体材料测试的±5KV高压放大器,最大电压±5KV,最大电流2mA,最低频率400Hz,精度要求优于满量程的0.3%;

 2. 配有独立的高压保护回路装置,高电压下保证主机和测试头免受破坏,同时起到测试主机与高压放大器通信功能;

 3、配有常温高压块体测试夹具,耐压0-5kV,具有良好绝缘性,可放置硅油。

四、块材压电测试模块

1.配有位移测试系统,配合铁电测试主机要求达到测试解析度0.6nm;

2.  配压电体材料样品盒:室温到200℃,耐压范围:0-10kV,带有位移反射面;

3.配压电测试软件, 可进行测量程序设定和数据图形存储,得出压电蝴蝶曲线。

五、数据采集分析软件

1. 能准确测量并绘制铁电薄膜的电滞回线,定量得到铁电薄膜材料的饱和极化Ps、剩余极化Pr、矫顽场Ec、漏电流等参数;

2. 可以进行铁电薄膜材料的铁电疲劳性能、记忆性能、铁电保持性能的测试,电阻测量,漏电流测量与绘制。

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