mems传感器通常也被叫做微电子机械系统，它指的是尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置中，作为一个独立的智能系统，其发挥出的作用是极为强大的。那么，今天就为大家详细介绍一下mems加速度传感器工作原理，希望能为大家带来参考帮助！
mems加速度传感器工作原理
我们以MEMS压阻式加速度传感器为例，来了解一下mems加速度传感器的常见工作原理。
MEMS压阻式加速度传感器的敏感元件主要是由质量块、弹性梁、固定框三大部分组成的。压阻式加速度传感器从实质上来讲，它是一个力传感器，可用测量固定质量块在受到加速度作用时，将产生的力F来测得加速度的。在目前研究尺度内，我们能够认为它的原理仍遵从牛顿第二定律。而当有加速度a作用于传感器时，传感器的惯性质量块便会产生一个惯性力,该惯性力F会作用于传感器的弹性梁上，如此一来，就会产生一个正比于F的应变。而此时弹性梁上的压敏电阻也会随着产生一个变化量△R，并由压敏电阻组成的惠斯通电桥输出一个与△R成正比的电压信号V，该系统的信号检测电路可采用压阻全桥作为该信号的检测电路。
电桥采用恒压源供电，桥压为。设、为正应变电阻，为负应变电阻，在进行电阻布局时，我们要在电阻布局、制造工艺上都要保证亚敏电阻的一致性，所以能够认为亚敏电阻和其变化量都是相等的。
以上就是关于mems加速度传感器工作原理的介绍了，相信大家在看完本文介绍以后，对于mems加速度传感器工作原理也能够有一个更加深入的了解了！伴随着工业4.0的到来，mems加速度传感器的技术也正朝向着越来越智能化的、稳定化的方向发展。未来，mems加速度传感器的应用也会越来越广泛，并深受人们青睐。