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MEMS传感器有哪些应用?来了解一下!

2021-03-03
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摘要 ​MEMS传感器是一种获取信息的关键器件,在传感装置的微型化发展中做出了重大的贡献,目前在太空卫星、航空设备、运载火箭等多个领域获得了较为广泛的应用。作为一种闻名全球的传感器,MEMS传感器技术的发展正逐渐繁盛发展起来。

MEMS传感器是一种获取信息的关键器件,在传感装置的微型化发展中做出了重大的贡献,目前在太空卫星、航空设备、运载火箭等多个领域获得了较为广泛的应用。作为一种闻名全球的传感器,MEMS传感器技术的发展正逐渐繁盛发展起来。那么,MEMS传感器在生活中的具体应用都有哪些呢?下面一起来了解一下吧!

MEMS传感器有哪些应用?

一、MEMS压力传感器

MEMS压力传感器是汽车中应用最多的传感器, 至少18个汽车应用领域促进压力传感器的增长,包括:轮胎压力,电子稳定控制系统中的刹车传感器,侧面气囊,与日益严格的排放标准相关的引擎控制,大气压力与废气再循环压力。这种传感器用单晶硅作材料,以采用MEMS技术在材料中间制作成力敏膜片,然后在膜片上扩散杂质形成四只应变电阻,再以惠斯顿电桥方式将应变电阻连接成电路,来获得高灵敏度。车用MEMS压力传感器有电容式、压阻式、差动变压器式、声表面波式等几种常见的形式。

二、MEMS加速度计

MEMS加速度计的原理是基于牛顿的经典力学定律,通常由悬挂系统和检测质量组成,通过微硅质量块的偏移实现对加速度的检测,主要用于汽车安全气囊系统、防滑系统、汽车导航系统和防盗系统等,除了有电容式、压阻式以外,MEMS加速度计还有压电式、隧道电流型、谐振式和热电偶式等形式。其中,电容式MEMS加速度计具有灵敏度高、受温度影响极小等特点,是MEMS微加速度计中的主流产品。

三、微陀螺仪

微陀螺仪是一种角速率传感器,主要用于汽车导航的GPS信号补偿和汽车底盘控制系统,主要有振动式、转子式等几种。应用最多的属于振动陀螺仪,它利用单晶硅或多晶硅的振动质量块在被基座带动旋转时产生的哥氏效应来感测角速度。例如汽车在转弯时,系统通过陀螺仪测量角速度来指示方向盘的转动是否到位,主动在内侧或者外侧车轮上加上适当的制动以防止汽车脱离车道,通常,它与低加速度计一起构成主动控制系统。

四、手机

是MEMS在消费类产品中最大的应用领域。包含MEMS麦克风、3D加速器、RF被动与主动组件、相机稳定与GPS的陀螺仪、小型燃料电池与生化芯片等,应用最多的传感器是加速计、陀螺仪与MEMS硅麦克风,其中加速度计是该市场中第一大应用产品。而近期陀螺仪增长迅速,已经成为继加速度计后的第二大应用产品。

MEMS传感器有哪些应用?看到这里,相信大家对于MEMS传感器也有一个更加全面的认识了!MEMS传感器是一种深受市场欢迎的传感器,因而它的应用场景及领域也是非常普及,随着MEMS传感技术水平的飞速发展,未来MEMS传感器的功能也将更具稳定,丰富!

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