气体半导体传感器的敏感元件是半导体气敏元件,作为生活中最为常见的气体传感器,在很多场景中,我们都能看到它的应用。气体半导体传感器带给我们的便利是非常多的,而这都是得益于其独特高效的工作原理,接下来,我们来了解一下关于
气体半导体传感器的检测原理
气体半导体传感器主要是根据氧化还原反应,以此分析记录传感器电阻值的变化,从而对监测被测气体。
气体半导体传感器是使用气体在半导体表层的氧化还原反应造成 敏感元件电阻值发生变化而制成的。当半导体器件被加热到平稳状态,在气体接触半导体表层而被吸附时,被吸附的分子结构最先在物体表层自由扩散,丧失运动能量,一部分分子结构被蒸发掉,另一部分残留分子结构产生热分解吸附在物体表层。当半导体的功函数低于吸附分子结构的亲和力,则吸附分子结构将从器件夺走电子而变成负离子吸附,半导体表层呈现电荷层。
气体半导体传感器分类有哪些
现阶段,气体半导体传感器可依照不同依据来实现划分,以下是常见的分类:
相对于气体半导体传感器,依照半导体与气体的相互作用是在其表层还是在其内部,可分为表层控制型和体控制型两种。
依照半导体变化的物理性质,又可分为电阻型和非电阻型两种。
电阻型气体半导体传感器是使用半导体接触气体时其阻值的改变来检测气体的成分或浓度值;
而非电阻型气体半导体传感器则是根据对气体的吸附和反应,使半导体的某些特性发生变化对气体实现直接或间接检测。
以上就是关于气体半导体传感器检测原理的介绍了,看到这里,相信大家对于气体半导体传感器又有了一个全新的认识了吧!如今,气体传感器正朝向着高灵敏度,高精度的方向发展,而这也是气体半导体传感器的特征所在,相信在未来,气体半导体传感器也将能够在传感器市场引起新的一轮主流发展趋势。