SMI（Silicon Microstructures, Inc.），是艾尔默斯半导体（elmos）的子公司。近日，该公司宣布推出SM923X系列超低压力传感器。SM923X系列压力范围最低可至250Pa（1 inH2O）。这款具有完全温度补偿和压力校准的传感器，使其在工业、HVAC和医疗应用中实现精确的压力测量。例如，可用于测量真空泵中的气体压力，监控HVAC设备中的滤波及VAV控制，还可检测医疗呼吸装置中的通风压力和吸气压力。
呼吸麻醉设备，资料图
SMI专有的MEMS压力传感器技术与最先进的信号调理IC集成在一个封装中，实现了较高的输出精度（1％FS）和长期稳定性。据悉，该系列压力传感器的开发，满足了工业、HVAC和医疗应用等领域对可靠性的苛刻要求。
该系列压力传感器的特性
该系列传感器采用的紧凑型解决方案，替代了传统笨重、昂贵的设备，大大提升了系统的效率，检测精度及可靠性。该方案的产品在电路板安装和系统级自动调零后，可实现在整个补偿温度范围内的测量精度小于1％满量程。其16位分辨率能够解析低至0.0038Pa的压力信号。此外，其预热性能和长期稳定性，也确保了器件在使用寿命周期内实现预期性能。
据介绍，该系列传感器经过完全校准，使用方法非常简单。数字I2C接口可轻松实现系统集成。深度睡眠模式可实现如HVAC无线传感器技术等的新的应用领域。SMI的解决方案集成了高阶噪声滤波，提供了低噪声和极低的EMI敏感度。
在封装方面，该芯片采用具有双垂直端口的小型SO16封装，易于实现系统集成和检测压力，该MEMS传感器在极高压力情况下仍能保持稳定性。该系列传感器安装方向灵活，且可抵抗各个方向的震动，因此进一步降低了产品的安装和布局。
真空泵，资料图
该系列压力传感器的潜在应用
目前，该系列传感器分为三个型号，可应用于压力开关、VAV和呼吸设备。在压力开关和气动阀等工业控制系统中，可实现精确的压力检测，比如泄漏检测。另一个重点应用是，用于测量真空泵中的气体压力。
在HVAC设备中，压力传感器用于监控滤波以及VAV控制。借助于压力传感器，可更智能地分配空气，从而实现节能。
在医疗应用中，超低压力传感器用于诸如呼吸装置中通风压力和吸气压力的检测。得益于传感器灵活的安装方向，高分辨率和低噪音性能，可有效降低呼吸设备的集成和使用要求。
SMI
关于SMI
SMI是全球elmos半导体集团的子公司，为特定应用IC、传感器和完整微系统的工业领域提供成熟的解决方案。SMI是ISO认证的主要开发者，是针对广泛市场的MEMS压力传感器的制造者，拥有超过25年的经验。SMI的设计、生产和质量控制流程使其开发了当今市场上最敏感、尺寸最小的MEMS压力传感器。
艾尔默斯半导体
关于艾尔默斯半导体
艾尔默斯半导体公司（elmos）成立于1984年，长期致力于研发、生产基于半导体技术的系统解决方案，拥有丰厚的技术资源与设计经验。技术领域涉及混合信号技术、电机控制技术、传感、光电技术领域，可为用户提供量身定制的产品设计服务。产品主要应用于汽车、工业控制、医疗设备、安防系统等领域。