半导体行业通常需要使用高纯度气体来进行工艺制造。
以下是一些半导体行业中常用的气体种类：
- 1、氮气：用于清洗、干燥、搬运和保存半导体物料。
- 2、氢气：用于沉积硅、氮化硅等薄膜和清洗。
- 3、氧气：用于氧化硅和氮化硅。
- 4、氩气：用于等离子刻蚀和保护处理。
- 5、氟气：用于氟化物化合物的制备和清洗。
- 6、氦气：用于检测和检修光学设备、电路板和半导体器件。
- 7、甲烷气：用于沉积铜和清洗。
- 8、氢氟酸：用于刻蚀玻璃和硅片。
- 9、硅烷气：用于沉积硅基薄膜和清洗。
这些气体在半导体生产中发挥着至关重要的作用，确保产品有更好的品质和性能。
半导体行业检测气体排放过程中的难点：
- 1、稀释：许多半导体工艺排放气体的浓度非常低，在进行检测之前需要将其稀释到检测仪器可以测量的范围内。
- 2、多种气体同时存在：在半导体生产过程中，可能会有多种气体同时被排放出来，这使得检测更加复杂和困难。
- 3、精准度：为了保证精度和准确性，检测仪器必须具有高精度和可靠性，以及能够检测到非常低的浓度。
- 4、检测位置：气体排放的位置也会影响检测难度。如果气体从多个地方排放，则需要确定最易受影响的位置进行检测。
- 5、数据处理：大规模生产中，往往需要实现自动化采集和分析处理数据。但对于气体排放检测，由于存在多种气体同时存在、误差等问题，数据处理相对困难。
半导体行业生产过程中的面对的环境，压力，温度，湿度
具体的环境、压力、温度和湿度等因素取决于不同的生产过程和设备，下面列举一些常见的数值：
- 1、环境：半导体行业生产需要在洁净室内进行。根据不同的洁净度级别和标准，空气中的颗粒物数量和大小有所不同，例如ISO 6级洁净室每立方米的颗粒物数量限制为1000个以下，尺寸为5微米以上的颗粒物数量限制为不超过1个。
- 2、压力：在加工硅片等材料时，需要施加一定的压力，以确保加工的精度和稳定性。例如，在用化学机械抛光（CMP）处理硅片时，通常施加10-20 psi的压力。
- 3、温度：半导体行业生产过程中，温度需要进行精确控制，以保证产品的质量和性能。例如，在晶圆制造过程中，需要进行高温热处理，一般在1000℃以上。在其他制造和测试过程中，也需要对温度进行严格的控制，例如在热退火等过程中，需要控制温度在几百到上千摄氏度之间。
- 4、湿度：在半导体行业生产过程中，湿度需要进行严格控制，以防止对制程和产品造成影响。例如，在晶圆制造过程中，需要将湿度控制在30%-50%左右，以避免水蒸气形成水膜。此外，在制造过程中，还需要控制设备和材料的相对湿度，例如在存储芯片时，需要将相对湿度控制在20%-60%范围内。
半导体行业气体排放检测适合多少量程和精度：
半导体行业气体排放检测需要适合多个不同的量程和精度，具体选择应根据气体种类和排放浓度等因素综合考虑。
一般来说，检测仪器应该具备足够的量程范围，以覆盖可能出现的废气排放浓度变化。例如，对于二氧化硫、氮氧化物等常见污染物，其排放浓度通常在几毫克/立方米至几百毫克/立方米之间，因此检测仪器的量程应该能够达到这个范围内。
同时，为了确保检测数据的精度和可靠性，检测仪器应该具备高精度和良好的稳定性，尤其是在低浓度下的检测中。例如，对于一些非常有害的气体，如氢氟酸和三氯甲烷等，其排放浓度可能只有几微克/立方米以下，需要使用高灵敏度的检测仪器。
国内半导体行业中气体排放检测执行的国家标准：
- GB 16297-1996 《大气污染物综合排放标准》
- HJ/T 75-2007 《半导体厂VOCs排放综合标准》
- HJ/T 76-2007 《大气污染物在线监测设备技术规范》
- GB 3095-2012 《大气污染物排放标准》
- HJ/T 397-2007 《半导体制造厂有组织排放气体污染物取样方法》
半导体行业气体排放检测硅烷气体浓度值要求：
半导体行业中对硅烷气体排放浓度的要求会因地区和具体行业标准而异。以下是一些常见的硅烷气体排放浓度参考值：
- 1、硅烷气体在室内空气中的安全限值是0.05ppm（8小时工作日）。
- 2、根据美国环保局（EPA）的标准，硅烷气体的安全浓度为5ppm，超过此浓度可能会对人体造成危害。
- 3、根据中国环境保护部颁布的《半导体行业大气污染物排放标准》（GB 31571-2015），硅烷气体在半导体厂内的排放限值为0.5mg/m³。
- 4、根据欧洲半导体工业协会（SEMI）的标准，硅烷气体的浓度控制在50ppb以内，严格的应该控制在10ppb以内。
不同的国家和地区可能采用不同的单位进行表示。例如，在中国，硅烷气体的排放限值通常以毫克/立方米为单位表示；而在欧洲和美国，通常以ppm或ppb为单位表示。
半导体行业中硅烷排放检测浓度的国家规定的安全值
在半导体行业中，硅烷是一种常用的化学气相沉积（CVD）原料。硅烷可以在制造芯片过程中产生有害气体，因此需要进行排放检测以确保工作场所和环境的安全。
不同国家和地区可能会有不同的硅烷排放检测浓度限制和安全值规定。以下是一些国家和地区的相关规定：
- 美国：根据美国职业安全与健康管理局（OSHA）的标准，硅烷的允许浓度为1 ppm（每百万份空气中的硅烷分子数）。如果超出这个限制，必须采取适当的措施来降低浓度。
- 欧盟：欧盟对硅烷的允许浓度限制为0.5 ppm。这个限制适用于所有可能暴露于硅烷的工人，包括半导体制造厂的工人和装配线上的工人。
- 台湾：台湾的硅烷排放浓度限制为2 ppm。如果超出这个限制，必须立即报告，并采取必要的措施来降低浓度。
半导体行业里，现有的气体排放检测的解决方案
在半导体行业中，气体排放检测是一个非常重要的环节，它可以帮助企业监控和控制生产过程中产生的有害气体排放，保护环境并确保员工健康。目前，市场上提供了一些不同类型的气体排放检测解决方案，包括以下几种：
- 1、光谱分析仪：利用光学原理对气体进行定量分析，具有高精度、高灵敏度等优点，可检测多种气体成分，并且可在线监测。
- 2、气相色谱法：通过将样品气体注入气相色谱柱中，按照成分在色谱柱中的分离时间进行检测，具有高灵敏度和可靠性，但需要大量的样品前处理和分离步骤，不适合现场快速检测。
- 3、红外光谱仪：利用红外光谱技术对气体进行检测和分析，可检测多种气体，操作简单，但通常只能检测单一组分。
然而，这些气体排放检测解决方案仍存在一些不足之处，例如：
- 1、需要专业人员进行操作和维护，成本较高。
- 2、部分设备的检测范围有限，不能同时检测多种气体成分。
- 3、在线监测系统存在误差和漂移问题，需要定期校正和维护。
- 4、传统激光光谱仪等设备在使用时需要消耗大量电力，无法满足节能环保需求。
半导体行业用电化学气体传感器检测气体排放的优势：
在半导体行业中，使用电化学气体传感器进行气体排放检测具有以下优势：
1、高精度：电化学气体传感器可以快速、准确地检测到空气中微量的有害气体浓度，能够满足半导体行业严格的环境要求。
- 2、可靠性高：电化学气体传感器采用了先进的技术和材料，具有很高的稳定性和可靠性，能够长期运行并持续监测气体排放情况。
- 3、实时性强：电化学气体传感器能够实时监测气体浓度变化，并将检测结果即时反馈给用户，方便及时采取相应的控制措施。
- 4、成本低廉：与其他检测方法相比，电化学气体传感器具有成本低廉、易于维护等优势，适用于大规模应用。
半导体行业用传统电化学气体传感器检测气体排放的不足：
- 1、灵敏度受干扰：电化学气体传感器的灵敏度受到环境温度、湿度等因素的影响，容易产生误报或漏报。
- 2、无法识别多种气体：电化学气体传感器通常只能检测单一气体，而不能同时识别多种气体，无法全面了解与控制气体排放情况。
- 3、维护成本高：电化学气体传感器需要定期校准和更换电极等部件，维护成本较高，对操作和维护人员的要求也较高。
- 4、应用范围受限：电化学气体传感器的应用范围受到工作温度、工作压力等条件的限制，可能无法适用于某些特殊环境下的气体监测。
固态聚合物电化学传感技术是电化学气体检测技术领域的一次革命性技术创新。本质上，该技术基于电化学催化反应的原理。传感器采用三电极设计，可以连续进行气体浓度测量，传感器主要由三电极系统(工作电极, 对电极, 参比电极)、固态电解质组成，并在恒电位下工作，被气体通过扩散孔到达传感器的工作电极，在电极的多孔微观表面发生电化学氧化或还原反应，反应的质子通过聚合物电解质迁移到对电极，电流信号大小与被测气体浓度成正比。
长寿命
采用新型固态聚合物电解质材料，无消耗，二维平面一体化封装工艺技术，确保三相界面得到长期的稳定，在空气中传感器预期寿命可达 5~10年
耐高湿
固态聚合物电解质材料吸水性很小，精密紧凑型设计使得水分子无法大量进入，可长期在95%以上湿度环境下连续正常工作，无漂移、无漏液。所有传感器在德国出厂，每一只传感器都要经过100%湿度的严酷测试。
可靠性
每只传感器Wafer出厂前均执行可靠性能测试，高温50℃，低温-20℃，高湿>80%rH在此环境下48小时连续循环测试检验，确保每只传感器在实际环境中的可靠应用。
宽温度
可在-40℃至55℃的宽温度范围内进行正常工作。
抗中毒
从微观结构设计与新型固态电解质的运用，传感器对超高浓度（50万ppm以上浓度）的气体耐受力很强，可经受过载超量程10倍以上高浓度污染气体冲击，传感器可自行恢复，不受损坏。
德国EC Sense中国传感器生产&应用设计研发中心
宁波爱氪森科技有限公司
www.ecsense.cn