2022年11月11日，珠海高新区11月重点项目及第二批入驻5.0产业新空间项目签约仪式举行，其中包括全硅MEMS振荡器及惯性传感器产业化基地项目。
珠海高新区消息显示，该项目致力于全硅MEMS振荡器的国产化研发及生产，自主研发各种MEMS时钟及惯性传感器等产品，上海设有研发中心。团队规模约30人，研发团队90%以上为硕博士。
据介绍，该项目计划在珠海高新区开展全硅MEMS振荡器、惯性传感器和MEMS扬声器的研发和量产、MEMS封测线建设等业务。
集成电路是珠海高新区的重点发展产业之一，围绕“以设计为核心，以化合物半导体为突破，以健全封测产业链为抓手”的集成电路产业发展定位，已引进集创北方、奥松电子、威兆等强链项目。
去年4月29日， 奥松半导体（珠海）有限公司首期投资30亿元的8英寸先进MEMS特色半导体IDM产业基地项目签约仪式在珠海（国家）高新技术产业开发区管委会隆重举行。该项目的落地标志着珠海市集成电路产业发展的重要历史性时刻，对珠海市加快打造以集成电路产业为首的“五大千亿级产业集群” 具有重大意义。