据台湾媒体报道,台湾半导体设备厂翔名打入了台积电EUV(极紫外光刻)供应链。
台媒称,翔名切入台积电5nm极紫外光(EUV)光罩盒表面处理业务,与EUV光罩盒大厂接洽合作机会,以独家专利无电镀镍(ENP)表面处理技术来提升产品良率,目前该光罩盒厂正进行评估测试,未来获台积电EUV制程指定产品入场门票机会大增。
为跨入5nm EUV光罩盒业务,翔名积极接触光罩盒大厂寻求合作契机,提供无电镀镍/化学镍(ENP,Electroless Nickel Plating)表面处理专利技术,可在金属或塑料等固体基材表面上沉积一层均匀的镍磷合金,使其EUV光罩盒不沾染、减少微粒工序,延长产品生命周期。
有分析称,一旦取得EUV光罩盒表面处理业务,以台积电光罩盒替换需求在近万套水准,加上后续4nm及3nm陆续量产需求,翔名2021年营运表现值得期待。