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盛思锐Sensirion SLQ-QT105液体流量传感器(液体流量计)

2020-06-30
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摘要 盛思锐Sensirion SLQ-QT105液体流量传感器(液体流量计)概述 盛思锐Sensirion SLQ-QT105液体流量传感器(液体流量计)针对要求苛刻的涂料系统的定做,是高达120 ml/min流量的烃基液体的半导体级-传感器解决方案。

盛思锐Sensirion SLQ-QT105液体流量传感器(液体流量计)概述

 盛思锐Sensirion SLQ-QT105液体流量传感器(液体流量计)针对要求苛刻的涂料系统的定做,是高达120 ml/min流量的烃基液体的半导体级-传感器解决方案。

该传感器基于Sensirion成熟的热式传感器技术,开辟了灵敏度、可靠性和速度方面的新前景。盛思锐Sensirion SLQ-QT105液体流量传感器(液体流量计)的快速响应时间有助于高度动态过程的准确监测,如快速分配操作。该传感器配备4x3mm PFA管件,无运动部件,通过一个笔直的流道壁进行非侵入性测量。所提供的智能数字接口(如RS485)可实现具有总线能力的远距离通讯。

盛思锐Sensirion SLQ-QT105液体流量传感器(液体流量计)是一款半导体级别的传感器解决方案,用于测量流速低于120ML/MIN 的碳烃化合物,例如光阻和溶剂。 由于采用充分验证的热式微传感器科技,其开辟了在灵敏度,稳定性及速度方面的新高度。液体流量传感器SLQ-QT105的极短的响应时间可以准确的监控高速动态变化过程,例如快速给料动作。液体流量传感器SLQ-QT105配有4X3MM的PFA管道,该设备无任何活动部件,可在直管流道的管壁里进行无侵害的测量。传感器配备智能数字接口,可靠的RS485的通讯协议适合于长距离通讯,具有较大的总线容量。

盛思锐Sensirion SLQ-QT105液体流量传感器(液体流量计)特性

测量范围高达120ML/MIN(碳烃类液体)

在小流量范围内依然保持最高的分辨率

快速响应时间低至30MS

RS485数字接口

用于测量光阻及溶剂

直管管道,无活动部件

可保证的洁净度

卓越的耐化学性,惰性材料

触液材质:PCTFE, 仅石英玻璃

最大工作压力3bar (特定需求下可提高压力)

盛思锐Sensirion SLQ-QT105液体流量传感器(液体流量计)应用领域

高端半导体过程控制

快速给料操作


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SLQ-QT105是一种半导体级传感器解决方案,适用于高达120毫升/分钟的烃基液体(如光刻胶和溶剂)的流量,适合于高要求涂层系统的集成。基于Sensirion经验证的热微传感器技术,它在灵敏度、可靠性和速度方面开辟了新的前景。SLQ-QT105响应时间短,可精确监控高动态过程,如快速加药操作。提供智能数字接口和强大的RS485通信,以实现远距离和总线功能。对于流量高达120毫升/分钟的水基液体或高粘性液体,请参阅我们的液体流量计SLQ-QT500。

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