气体广泛应用于工业,如化工、钢铁、半导体、电子、医疗、石油、食品等。它们有很多种,可以分为一般的特殊气体和工业气体。以半导体行业为例,氮气是半导体工艺中最重要的气体之一,用量最大。由于其不导电、冷却速度快的特点,可以在工艺中保护设备,也可以用于危险气体与空气隔离或低温试验。
气体供应系统的氮气要求更严格,需要高清洁度、高纯度、高干燥;其中,为了控制干燥程度,在气体供应和输送系统的过程中,会设置露点传感器来监控气体是否足够低湿。
实际应用:
半导体工厂的氮气供应模式取决于不同的供气模式,如桶槽供应模式、钢瓶供应模式、管道供应模式、用气端供应模式等。无论是哪种供应模式,都必须通过输送系统中的氮气储存容器,如高压钢瓶或吸附气体储存钢瓶,然后通过管道?向现场附近的阀箱供气???控制与进气的混合比?控制,然后供应给工艺后端机器。
半导体工业中使用的氮气大多与电子零件直接接触,纯度需要达到ppm。、ppb级,洁净度为0以下的尘粒粒径控制.1…0.05m,干燥度达到压力露点。-40℃…-70℃。
为了达到氮气使用的标准,通常会在气体传递到冷冻干燥机前端的露点传感器上安装,也可以在烘烤晶圆前安装,这样可以更准确地监控氮气运输过程中的露点值保持在极低的湿度,从而提高工艺中的良率。
NP330德国GFS露点传感器-G测量气体中的微量湿度,绝对露点传感器,-80°CDP至+在20℃DP范围内测量气体中的微量湿度。精确度±2°Cdp。NP33湿度传感器-g用于在线测量空气和腐蚀性气体中的绝对水含量(露点),开关输出可编程,用于报警信号,对露点镜面进行校准,结构牢固可靠,防护等级IP65,可提供OEM加工,防爆设计可根据要求提供,设计用于化学污染和结露等恶劣环境,相当适合工业工艺气体的供应或压缩干燥机的效率监测。